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精确、可重复的运动产品解决了半导体制造难题

半导体制造仪器面临着一长串的运动挑战。它们必须满足不断增长的吞吐量需求,处理不断缩小的芯片,满足高精度要求,并在污染敏感环境中运行。与运动产品满足这些挑战性要求的供应商合作,并在洁净室、真空室和其他困难的操作环境中可靠运行,是值得的。

在IK万博3.0安卓客户端下载O,我们设计了我们的运动产品,为半导体应用提供准确、可靠和平滑的运动。我们还提供各种选择和配件,使您能够适应半导体铸造厂的苛刻条件。

以下是半导体制造中的一些典型运动任务,以及完成这些任务的产品:

  • 平滑、精确的直线运动。狗万1.0 具有高精度、多种可用导轨尺寸和四种可能的轴承长度,适用于芯片制造设备、晶圆运输和搬运机器、机器人和掺杂过程中使用的离子注入仪器。我们的球型线性导轨结合了平滑、可重复的运动和微米级多轴精度以及安静的操作。它们的轨道尺寸小到一毫米,并且宽度变化大,有助于承受滚动力矩。
  • 高速旋转和定位零件。我们的十字滚子轴承非常适合需要高旋转精度的应用。我们的十字滚子轴承在内圈和外圈之间以直角交叉,可以同时处理径向、推力和力矩载荷。它们提供了良好的负载能力和微米级定位,适合于拾取和放置机器和机器人。只有一个交叉滚柱轴承提供与一对双滚珠轴承相同的性能,在紧凑的机器人设计中节省空间。
  • 免维护运动。我们的C-Lube技术可用于我们的许多直线运动部件,实际上消除了难以接近的环境中的润滑要求,在这些环境中,频繁的重新润滑不是一个选项,维护可能很困难。

受到半导体行业的信赖

在为半导体设备设计复杂机械时,我们的直线导轨和轴承提供高性能、优质碳钢或不锈钢结构,尺寸范围广泛。此外,由于半导体制造业面临洁净室和真空室等困难的操作环境,我们提供了有助于防止污染的组件。不锈钢是我们LWL系列直线导轨的标准配置,我们的大多数直线运动滚动导轨都有不锈钢选件。我们还提供黑铬表面处理,作为另一种抗腐蚀的方法。

除了这些好处之外,我们在这方面有几十年的经验半导体工业-使我们成为精密制造设备精确、可靠运动部件的理想来源。

获取更多关于我们为半导体行业提供的产品.

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